表面元素：对表面纳米级别元素定性半定量测试，检出限0.1~1%

价态分析：对单个元素窄谱进行分峰拟合，从而定性半定量，例如铁

有机官能团分析：利用窄谱信息对给定官能团进行分析

深度剖析/膜厚测试：氩离子团簇深度刻蚀，可以测试元素随深度变化

UPS-XPS：可以得到价带、导带、能带间隙

面扫测试：利用结合能不同进行面扫测试