简介

赛默飞公司生产的Helios 5CX型电子显微镜是一款高性能双束扫描电镜（FIB-SEM），结合聚焦离子束（FIB）和扫描电子显微镜（SEM）技术，适用于高分辨率成像和精确样品制备。其电子束分辨率达0.6nm@30kV，支持亚纳米级成像和三维重构，广泛应用于材料科学、半导体和生命科学等领域，特别适合TEM样品制备和集成电路器件分析。